Evaluasi-diri dilakukan melalui prosedur yang ditata dalam tahap-tahap berikut: persiapan dan perencanaan, penataan organisasi, pelaksanaan, pemanfaatan pakar sejawat, dan tindak lanjut. Setiap tahap itu dirinci sebagai berikut.
A. Persiapan dan perencanaan
Tahap ini mencakup kegiatan:
a. Pembentukan tim inti.
b. Motivasi staf.
c. Penentuan fokus dan sasaran sesuai dengan agenda dan masalah yang dihadapi lembaga.
d. Penentuan luas dan kedalaman evaluasi.
e. Penataan sumber-sumber data dan informasi yang digunakan.
f. Pembagian tugas tim inti.
g. Penentuan jadwal kegiatan.
h. Penentuan pihak-pihak yang akan dilibatkan.
